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Product Center瑞士VAT閥VAT角閥、內聯式或圓柱式真空閥 角閥、內聯式或圓柱式真空閥 用于泵送系統、工藝或排氣應用的通用真空閥。是在苛刻的安裝環境下進行真空隔離或控制的理想選擇。帶有增值稅波紋管,適用于UHV。
瑞士VAT閥VAT 21.4 迷你角閥/內聯閥 21.4 迷你角閥/內聯閥 在無壓縮空氣的情況下為密封或排氣提供出色可靠性
瑞士VAT閥24.2 帶密封保護系統的角閥 24.2 帶密封保護系統的角閥 為遠程等離子清潔應用樹立耐用性新標準
瑞士VAT真空擺閥 特殊類別的隔離控制閥,其中的真空門通過旋轉運動移出開口截面。通過非常精細的傳導控制,是工藝室中下游壓力控制的標準解決方案。特點是。設計緊湊,振動小,開啟和關閉平穩,避免了過程中的顆粒。
瑞士VAT閥3位置真空閥 功能介于隔離閥和控制閥之間。除了打開和關閉的位置外,這些閥門還有第三個確定的可調整的閥門位置。這個閘門位置通常被設計成 “光學關閉“,也可以實現 “待機 “功能,或在減少傳導的情況下實現更平滑的開啟,例如,避免壓力峰值。
瑞士VAT閥67.0 對稱控制閥 67.0 系列專為半導體生產中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設計,可用作下游控制和隔離閥。
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